Вы здесь: Дом » Датчики давления » Промышленные датчики давления » HPM18V Высокая точность емкости вакуумной датчик с диафрагмой Absolute Absurersmitter

HPM18V Высокая точность емкости вакуумной датчик с диафрагмой Absolute Absurersmitter

HPM18V Высокая точность емкости вакуумной датчик с диафрагмой Absolute Absurersmitter

Скачать:
HPM18V Capacitance Vacuum Gauge.pdf

Количество:
штат:





Запрос цены Добавить в корзину

HPM18V - это вакуумный датчик с протектором диафрагмы, также называемый емкостным датчиком пленки (CDG). Этот продукт использует керамический емкостный датчик в качестве чувствительного элемента и использует вакуумную связь для непосредственного измерения давления. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10VDC, пропорциональны измеренному давлению и не зависят от типа и состава процесса газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого тепла, что заставляет вакуумный датчик обладает очень хорошей тепловой стабильностью и низким температурным дрейфом.

Описание

Приложение

Функции

Параметры

HPM18V - это вакуумный датчик с протектором диафрагмы, также называемый емкостным датчиком пленки (CDG). Этот продукт использует керамический емкостный датчик в качестве чувствительного элемента и использует вакуумную связь для непосредственного измерения давления. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10VDC, пропорциональны измеренному давлению и не зависят от типа и состава процесса газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого тепла, что заставляет вакуумный датчик обладает очень хорошей тепловой стабильностью и низким температурным дрейфом.

Приложение

Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления

Функции

Принцип фильма конденсатора
Высокая точность и хорошая стабильность
Обладает хорошей способностью к выгрузке
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и небольшой гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению

Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности

Технические параметры

Измеренный диапазон
Абсолют (KPA)	Рейтинг давления	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
Абсолют (KPA)	Перегрузка	200	200	200	200	400	400	600	1000
Абсолют (Торр)	Рейтинг давления	2	5	10	20	50	100	200	1000
Абсолют (Торр)	Перегрузка	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Абсолют (MBAR)	Рейтинг давления	2	5	10	20	50	100	200	1000
Абсолют (MBAR)	Перегрузка	2000	2000	2000	2000	4000	4000	6000	10000
Примечание. Для других диапазонов измерения, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Измерение среды	Различные газы, совместимые с контактными материалами
Диапазон давления	0 ～ 2Torr… 1000Torr
Точность	± 0,1%FS, ± 0,25%FS, ± 0,5%FS (в зависимости от диапазона измерения)
Рабочая температура	-40 ～ 85 ℃
Напряжение снабжения	10 ~ 30 В 8,5 ~ 30 В пост 12 ~ 30 В 10 ~ 30 В (С учетом вывода)
Выходной сигнал	4 ~ 20MADC, напряжение, RS485