штат: | |
---|---|
Количество: | |
Обзор
HPM18V - это вакуумный датчик с протектором диафрагмы, также называемый емкостным датчиком пленки (CDG). Этот продукт использует керамический емкостный датчик в качестве чувствительного элемента и использует вакуумную связь для непосредственного измерения давления. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10VDC, пропорциональны измеренному давлению и не зависят от типа и состава процесса газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого тепла, что заставляет вакуумный датчик обладает очень хорошей тепловой стабильностью и низким температурным дрейфом.
Приложение
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Функции
Принцип фильма конденсатора
Высокая точность и хорошая стабильность
Обладает хорошей способностью к выгрузке
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и небольшой гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Обзор
HPM18V - это вакуумный датчик с протектором диафрагмы, также называемый емкостным датчиком пленки (CDG). Этот продукт использует керамический емкостный датчик в качестве чувствительного элемента и использует вакуумную связь для непосредственного измерения давления. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10VDC, пропорциональны измеренному давлению и не зависят от типа и состава процесса газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого тепла, что заставляет вакуумный датчик обладает очень хорошей тепловой стабильностью и низким температурным дрейфом.
Приложение
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Функции
Принцип фильма конденсатора
Высокая точность и хорошая стабильность
Обладает хорошей способностью к выгрузке
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и небольшой гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Диапазон давления | 0 ~ 2Torr… 1000Torr | ||||||||
Измерение среды | Различные газы, совместимые с контактными материалами | ||||||||
Диапазон давления | 0 ~ 2Torr… 1000Torr | ||||||||
Точность | ± 0,1%FS, ± 0,25%FS, ± 0,5%FS (в зависимости от диапазона измерения) | ||||||||
Рабочая температура | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Напряжение снабжения | 10 ~ 30 В постоянного тока; 8,5 ~ 30 В постоянного тока; 12 ~ 30 В постоянного тока; 10 ~ 30 В постоянного тока (с учетом вывода) | ||||||||
Выходной сигнал | 4 ~ 20MADC, напряжение, RS485 |
Диапазон давления | 0 ~ 2Torr… 1000Torr | ||||||||
Измерение среды | Различные газы, совместимые с контактными материалами | ||||||||
Диапазон давления | 0 ~ 2Torr… 1000Torr | ||||||||
Точность | ± 0,1%FS, ± 0,25%FS, ± 0,5%FS (в зависимости от диапазона измерения) | ||||||||
Рабочая температура | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Напряжение снабжения | 10 ~ 30 В постоянного тока; 8,5 ~ 30 В постоянного тока; 12 ~ 30 В постоянного тока; 10 ~ 30 В постоянного тока (с учетом вывода) | ||||||||
Выходной сигнал | 4 ~ 20MADC, напряжение, RS485 |
Обзор
HPM18V - это вакуумный датчик с протектором диафрагмы, также называемый емкостным датчиком пленки (CDG). Этот продукт использует керамический емкостный датчик в качестве чувствительного элемента и использует вакуумную связь для непосредственного измерения давления. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10VDC, пропорциональны измеренному давлению и не зависят от типа и состава процесса газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого тепла, что заставляет вакуумный датчик обладает очень хорошей тепловой стабильностью и низким температурным дрейфом.
Приложение
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Функции
Принцип фильма конденсатора
Высокая точность и хорошая стабильность
Обладает хорошей способностью к выгрузке
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и небольшой гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Диапазон давления | 0 ~ 2Torr… 1000Torr | ||||||||
Измерение среды | Различные газы, совместимые с контактными материалами | ||||||||
Диапазон давления | 0 ~ 2Torr… 1000Torr | ||||||||
Точность | ± 0,1%FS, ± 0,25%FS, ± 0,5%FS (в зависимости от диапазона измерения) | ||||||||
Рабочая температура | -40 ~ 85 ℃ | ||||||||
Напряжение снабжения | 10 ~ 30 В постоянного тока; 8,5 ~ 30 В постоянного тока; 12 ~ 30 В постоянного тока; 10 ~ 30 В постоянного тока (с учетом вывода) | ||||||||
Выходной сигнал | 4 ~ 20MADC, напряжение, RS485 |