Дом » Продукция » Датчики давления » Горячие продажи » HPM18LV Емкостный датчик абсолютного вакуумного давления 0–10 В, разъем KF, CF и видеомагнитофона

HPM18LV Емкостный датчик абсолютного вакуумного давления 0–10 В, разъем KF, CF и видеомагнитофона

HPM18LV Емкостный датчик абсолютного вакуумного давления 0–10 В, разъем KF, CF и видеомагнитофона

Скачать таблицу:
HPM18LV Capacitance Vacuum Gauge - V26.1.0.pdf

Количество:
штат:





Запрос цены Добавить в корзину

Обзор

HPM18LV — это емкостный вакуумметр, также известный как емкостный тонкопленочный вакуумметр (CDG). В этом продукте в качестве чувствительного элемента используется керамический емкостной датчик, который непосредственно измеряет давление через вакуумное соединение. Его аналоговый выходной сигнал 0–10 В постоянного тока пропорционален измеряемому давлению и не зависит от типа и состава технологического газа. Керамические материалы обладают высокой эластичностью, износостойкостью, устойчивостью к коррозии и быстрым рассеиванием тепла, что обеспечивает этому вакуумметру превосходную термическую стабильность и низкий температурный дрейф.

Приложение

Вакуумное применение
Лаборатория и исследования и разработки+
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления

Функции

Емкостный тонкопленочный принцип
Высокая точность и хорошая стабильность
Отличная устойчивость к перегрузкам
На обнаружение не влияет тип и состав газа
Быстрый ответ и низкий гистерезис
Прямое измерение давления: аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению.
Поддерживает различные интерфейсы давления в вакуумной промышленности, такие как KF, CF и VCR.

Измеренный диапазон
Абсолютный (кПа)	Рейтинг давления	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Перегрузка	350	350	350	350	400	400	600	1000
Абсолютный (Торр)	Рейтинг давления	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Перегрузка	2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Абсолютный (мбар)	Рейтинг давления	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Перегрузка	3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Примечание. Для других диапазонов измерения, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Измерение среды
Тип		Различные газы, совместимые с контактными материалами
Выходной сигнал/источник питания
Стандартный		0 ~ 10 В пост _.
Производительность
Точность		±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа) ±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа) ±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа) ±1,5% полной шкалы (200 Па)
Долгосрочная стабильность		±0,50% полной шкалы/год, ≤1 кПа ±0,25% полной шкалы/год, >1 кПа
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость)
Условия окружающей среды
Температурная диапазон		Рабочая температура: -40~125℃ (максимум 120 минут при +125°C) Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃
Защитный класс		IP40
Температурная дрейф
Температура компенсации		-20 ~ 80 ℃
Температурный дрейф нулевой точки		±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации)
Температурная дрейф полного масштаба		±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации)
Электрическая защита
Защита короткого замыкания		Поддерживать
Защита обратной полярности		Нет повреждений, схема не работает
Механическая стабильность
Вибрация		20 г (20 ~ 5000 Гц)
Воздействие сопротивления		50 г (11 мс)
Изоляция
Устойчивость к изоляции		>200 МОм при 500 В постоянного тока
Диэлектрическая прочность		<2 мА 500 В переменного тока 1 мин

Описание

Технические параметры

Обзор

HPM18LV — это емкостный вакуумметр, также известный как емкостный тонкопленочный вакуумметр (CDG). В этом продукте в качестве чувствительного элемента используется керамический емкостной датчик, который непосредственно измеряет давление через вакуумное соединение. Его аналоговый выходной сигнал 0–10 В постоянного тока пропорционален измеряемому давлению и не зависит от типа и состава технологического газа. Керамические материалы обладают высокой эластичностью, износостойкостью, устойчивостью к коррозии и быстрым рассеиванием тепла, что обеспечивает этому вакуумметру превосходную термическую стабильность и низкий температурный дрейф.

Приложение

Вакуумное применение
Лаборатория и исследования и разработки+
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления

Функции

Емкостный тонкопленочный принцип
Высокая точность и хорошая стабильность
Отличная устойчивость к перегрузкам
На обнаружение не влияет тип и состав газа
Быстрый ответ и низкий гистерезис
Прямое измерение давления: аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению.
Поддерживает различные интерфейсы давления в вакуумной промышленности, такие как KF, CF и VCR.

Измеренный диапазон
Абсолютный (кПа)	Рейтинг давления	0.2	0.5	1	2	5	10	20	100
	Перегрузка	350	350	350	350	400	400	600	1000
Абсолютный (Торр)	Рейтинг давления	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Перегрузка	2600	2600	2600	2600	3000	3000	4500	7500
Абсолютный (мбар)	Рейтинг давления	2	5	10	20	50	100	200	1000
	Перегрузка	3500	3500	3500	3500	4000	4000	6000	10000
Примечание. Для других диапазонов измерения, пожалуйста, свяжитесь с нами.
Измерение среды
Тип		Различные газы, совместимые с контактными материалами
Выходной сигнал/источник питания
Стандартный		0 ~ 10 В пост _.
Производительность
Точность		±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа) ±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа) ±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа) ±1,5% полной шкалы (200 Па)
Долгосрочная стабильность		±0,50% полной шкалы/год, ≤1 кПа ±0,25% полной шкалы/год, >1 кПа
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость)
Условия окружающей среды
Температурная диапазон		Рабочая температура: -40~125℃ (максимум 120 минут при +125°C) Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃
Защитный класс		IP40
Температурная дрейф
Температура компенсации		-20 ~ 80 ℃
Температурный дрейф нулевой точки		±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации)
Температурная дрейф полного масштаба		±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации)
Электрическая защита
Защита короткого замыкания		Поддерживать
Защита обратной полярности		Нет повреждений, схема не работает
Механическая стабильность
Вибрация		20 г (20 ~ 5000 Гц)
Воздействие сопротивления		50 г (11 мс)
Изоляция
Устойчивость к изоляции		>200 МОм при 500 В постоянного тока
Диэлектрическая прочность		<2 мА 500 В переменного тока 1 мин