Дом » Продукция » Датчики давления » Промышленный датчик давления » HPM18V емкость вакуумной датчики KF16 соединение, абсолютный передатчик давления

HPM18V емкость вакуумной датчики KF16 соединение, абсолютный передатчик давления

Емкостно-мембранный манометр HPM18V — это высокоточный вакуумметр для измерения среднего и низкого вакуума, предлагающий диапазон от 0,2 до 100 кПа, точность до ±0,1% полной шкалы и выход 4–20 мА, 0–10 В постоянного тока или RS485. Благодаря керамическому емкостному датчику он обеспечивает прямое измерение давления, независимо от состава газа, с превосходной стабильностью, быстрым откликом и надежными характеристиками в полупроводниковых, лабораторных, вакуумных упаковочных и плазменных процессах.
штат:
Количество:
facebook sharing button
linkedin sharing button
whatsapp sharing button
twitter sharing button
pinterest sharing button
sharethis sharing button

Емкостный мембранный манометр HPM18V


Элемент Спецификация
Название продукта   Емкостный мембранный манометр HPM18V
Тип продукта Емкостный пленочный манометр (CDG)/вакуумметр      
Принцип измерения   Принцип фильма конденсатора
Сенсорный элемент Керамический емкостный датчик      
Измеренный диапазон 0,2/0,5/1/2/5/10/20/100 кПа
2/5/10/20/50/100/200/1000 Торр
2/5/10/20/50/100/200/1000 мбар
Выходной сигнал/питание 4~20мА/Vs=10~30В постоянного тока        
0–5 В постоянного тока / Vs = 8,5–30 В постоянного тока        
0–10 В постоянного тока / Vs = 12–30 В постоянного тока
RS485/Vs=10~30 В постоянного тока    
Точность   ±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа)  
±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа)
±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа)  
±1,5% полной шкалы (200 Па)    
Долгосрочная стабильность ±0,50% полной шкалы/год для ≤1 кПа
±0,25% полной шкалы/год для >1 кПа    
Рабочая температура -40~125°К

+125°C макс. 120 мин.  
Температура окружающей среды -30~85°К
Температура хранения -30~85°К  



Обзор  емкостного мембранного датчика HPM18V

HPM18V — это емкостный вакуумметр, также называемый емкостным тонкопленочным вакуумметром (CDG). В этом продукте в качестве чувствительного элемента используется керамический емкостной датчик, который непосредственно измеряет давление с помощью вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0–5 или 0–10 В постоянного тока, пропорциональны измеряемому давлению и не зависят от типа и состава технологического газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого рассеивания тепла, что делает вакуумметр очень хорошей термической стабильностью и низким температурным дрейфом.

Емкостный вакуумметр HPM18V обладает высокой точностью измерения, превосходной устойчивостью к избыточному давлению и превосходной долговременной стабильностью. Его устойчивый к коррозии керамический датчик имеет температурную компенсацию, широкий диапазон рабочих температур и хорошую стабильность нулевой точки. Вакуумметр компактен по размеру, прост в использовании и надежен и подходит для точного измерения среднего и низкого вакуума со сложным составом газа.


Приложение

  • Вакуумное применение

  • Лабораторные и исследования и разработки

  • Полупроводниковая промышленность

  • Вакуумная упаковка

  • Плазменное оборудование процесса травления


Функции

  • Принцип фильма конденсатора

  • Высокая точность и хорошая стабильность

  • Обладает отличной защитой от перегрузок.

  • Обнаружение не зависит от типа газа и композиции

  • Быстрый ответ и небольшой гистерезис

  • Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению

  • Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности



Принцип измерения

Емкостный вакуумметр, также называемый емкостным пленочным вакуумметром, работает на основе принципа изменения емкости и состоит из детекторной части и схемы преобразования.~!phoenix_varIMG53!~  

На рисунке выше представлена ​​принципиальная схема детекторной  части. Часть обнаружения имеет две камеры: вакуумную камеру и камеру обнаружения. Вакуумная камера представляет собой полностью герметичную конструкцию. После обнаружения утечки с помощью течеискателя гелиевого масс-спектрометра он выпускается в течение длительного времени, и, наконец, выхлопная труба герметизируется для поддержания длительного высокого вакуума. Неподвижная электродная пластина находится в вакуумной камере и выводится из вакуумной камеры проводом электрода. Диафрагма обнаружения размещается между камерой высокого вакуума и камерой обнаружения испытуемой системы низкого вакуума. Диафрагма обнаружения представляет собой подвижную пластину, которая вместе с неподвижной пластиной образует плоский конденсатор. Измеренное низкое вакуумное давление поступает в камеру обнаружения через отверстие обнаружения, и диафрагма обнаружения отклоняется, изменяя свое расстояние от неподвижной пластины, и значение емкости также изменяется соответствующим образом. Различное низкое давление вакуума определяет разные значения емкости.

Сигнал емкости, сформированный блоком обнаружения, отправляется в блок преобразования схемы. Часть преобразования схемы преобразует сигнал емкости посредством преобразования, сортировки, усиления и преобразования и, наконец, выводит стандартный сигнал напряжения или тока. Этот стандартный электрический сигнал получается из емкостного сигнала и пропорционален вакуумному давлению.


Этикетки схематических диаграмм

  • Геттер

  • Вакуумная камера

  • Пластинчатый кабельный вывод

  • Дыхательная трубка

  • Герметизация после выхлопа

  • Фиксированная доска

  • Диафрагма обнаружения

  • Камера обнаружения

  • Отверстие для обнаружения


Материал конструкции

Код заказа Деталь Материалы
С4 Интерфейс давления SS304
S6 Интерфейс давления СС316Л
ЧП Интерфейс давления PEEK
M6 Датчик Керамический Al2O3 99,9%
ФК уплотнительное кольцо FKM Фторкаучук
Примечание: уплотнительное кольцо НБР Нитрил


Структурные чертежи

  • наружный диаметр трубы 1/2 дюйма

  • наружный диаметр трубки 1/4 дюйма

  • Ду 16 ИСО-КФ

  • 8 Видеомагнитофон, внутренняя резьба

  • 4 видеомагнитофона, наружная резьба и 8 видеомагнитофонов, наружная резьба

  • 4 Видеомагнитофон, внутренняя резьба

  • М20Х1,5



Электрическое соединение

Hirschmann/DIN43650 / M12×1-4P / Кабельный вывод / M12x1-4P с кабелем

Двухпроводной токовый выход 4~20 мА


Источник питания+ (+В) Источник питания- (0В/+ВЫХОД) Пусто
Хиршманн/DIN43650 1 2 3, 4
Кабельная розетка Red Черный -
М12×1 1 2 3,4
М12×1 (с кабелем) Коричневый Черный Синий, белый

Трехпроводной выход напряжения 0–5 В/10 В.


Источник питания+(+В) Общая земля (GND) Выход(+OUT) Пустой
Хиршманн/DIN43650 1 2 3 4
Кабельная розетка Red Черный Синий -
М12×1 1 2 3 4
M12×1 (с кабелем) Коричневый Черный Синий Белый

Четырехпроводной Modbus-RTU/RS485


Источник питания+(+В) Источник питания-(-В) RS485A RS485B
Хиршманн/DIN43650 1 2 3 4
Кабельная розетка Red Черный Желтый Зеленый
М12×1,4П 1 2 3 4
M12×1 (с кабелем) Коричневый Черный Синий Белый



Измеренный диапазон

Абсолютный

(кПа)

Рейтинг давления

0.2

0.5

1

2

5

10

20

100

Перегрузка

350

350

350

350

400

400

600

1000

Абсолютный

(Торр)

Рейтинг давления

2

5

10

20

50

100

200

1000

Перегрузка

2600

2600

2600

2600

3000

3000

4500

7500

Абсолютный

(мбар)

Рейтинг давления

2

5

10

20

50

100

200

1000

Перегрузка

3500

3500

3500

3500

4000

4000

6000

10000

Примечание. Для получения информации о других диапазонах измерения свяжитесь с нами.

Измерение среды

Тип

Различные газы, совместимые с контактными материалами

Выходной сигнал/источник питания

Стандартный

4~20 мА      / Vs=10~30 В постоянного тока (при наличии дисплея Vs = 13~30 В постоянного тока )

Стандартный

0–5 В постоянного тока      /Vs = 10–30 В постоянного тока

Стандартный

0 ~    10 В пост .

Стандартный

RS485       /Vs=8~30 В постоянного тока

Производительность

Точность

±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа)

±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа)

±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа)

±1,5% полной шкалы (200 Па)

Долгосрочная стабильность

±0,50% полной шкалы/год, ≤1 кПа

±0,25% полной шкалы/год, >1 кПа

*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость)

Условия окружающей среды

Температурная диапазон

Рабочая температура: -40~125℃ (максимум 120 минут при +125°C)

Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃

Температура хранения: -30 ~ 85 ℃

Защитный класс

IP65, DIN43650/Хиршманн (C1)

IP66, Кабельный вывод (C2), M12×1 (C5), M12×1 с кабелем (C5X)

IP68, кабельный вывод (C2P)

Температурная дрейф


Температура компенсации

-20 ~ 80 ℃

Температура дрейфа нулевой точки

±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации)

Температурная дрейф полного масштаба

±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации)


Обратная связь

Связанные продукты

Оставить сообщение
Обратная связь

Быстрые ссылки

Категория продукта

Связаться с нами

№ 18, Fenghua Road, Юхуа зона экономического развития, Нанкин, Цзянсу, Китай
+86-17551075580
info@hjsensor.com
Авторские права 2025 Nanjing Hangjia Electronic Technology Co.,Ltd.