| штат: | |
|---|---|
| Количество: | |
| Элемент | Спецификация |
| Название продукта | Емкостный мембранный манометр HPM18V |
| Тип продукта | Емкостный пленочный манометр (CDG)/вакуумметр |
| Принцип измерения | Принцип фильма конденсатора |
| Сенсорный элемент | Керамический емкостный датчик |
| Измеренный диапазон | 0,2/0,5/1/2/5/10/20/100 кПа |
| 2/5/10/20/50/100/200/1000 Торр | |
| 2/5/10/20/50/100/200/1000 мбар | |
| Выходной сигнал/питание | 4~20мА/Vs=10~30В постоянного тока |
| 0–5 В постоянного тока / Vs = 8,5–30 В постоянного тока | |
| 0–10 В постоянного тока / Vs = 12–30 В постоянного тока | |
| RS485/Vs=10~30 В постоянного тока | |
| Точность | ±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа) |
| ±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа) | |
| ±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа) | |
| ±1,5% полной шкалы (200 Па) | |
| Долгосрочная стабильность | ±0,50% полной шкалы/год для ≤1 кПа |
| ±0,25% полной шкалы/год для >1 кПа | |
| Рабочая температура | -40~125°К |
| +125°C макс. 120 мин. | |
| Температура окружающей среды | -30~85°К |
| Температура хранения | -30~85°К |
HPM18V — это емкостный вакуумметр, также называемый емкостным тонкопленочным вакуумметром (CDG). В этом продукте в качестве чувствительного элемента используется керамический емкостной датчик, который непосредственно измеряет давление с помощью вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0–5 или 0–10 В постоянного тока, пропорциональны измеряемому давлению и не зависят от типа и состава технологического газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого рассеивания тепла, что делает вакуумметр очень хорошей термической стабильностью и низким температурным дрейфом.
Емкостный вакуумметр HPM18V обладает высокой точностью измерения, превосходной устойчивостью к избыточному давлению и превосходной долговременной стабильностью. Его устойчивый к коррозии керамический датчик имеет температурную компенсацию, широкий диапазон рабочих температур и хорошую стабильность нулевой точки. Вакуумметр компактен по размеру, прост в использовании и надежен и подходит для точного измерения среднего и низкого вакуума со сложным составом газа.
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Принцип фильма конденсатора
Высокая точность и хорошая стабильность
Обладает отличной защитой от перегрузок.
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и небольшой гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Емкостный вакуумметр, также называемый емкостным пленочным вакуумметром, работает на основе принципа изменения емкости и состоит из детекторной части и схемы преобразования.
На рисунке выше представлена принципиальная схема детекторной части. Часть обнаружения имеет две камеры: вакуумную камеру и камеру обнаружения. Вакуумная камера представляет собой полностью герметичную конструкцию. После обнаружения утечки с помощью течеискателя гелиевого масс-спектрометра он выпускается в течение длительного времени, и, наконец, выхлопная труба герметизируется для поддержания длительного высокого вакуума. Неподвижная электродная пластина находится в вакуумной камере и выводится из вакуумной камеры проводом электрода. Диафрагма обнаружения размещается между камерой высокого вакуума и камерой обнаружения испытуемой системы низкого вакуума. Диафрагма обнаружения представляет собой подвижную пластину, которая вместе с неподвижной пластиной образует плоский конденсатор. Измеренное низкое вакуумное давление поступает в камеру обнаружения через отверстие обнаружения, и диафрагма обнаружения отклоняется, изменяя свое расстояние от неподвижной пластины, и значение емкости также изменяется соответствующим образом. Различное низкое давление вакуума определяет разные значения емкости.
Сигнал емкости, сформированный блоком обнаружения, отправляется в блок преобразования схемы. Часть преобразования схемы преобразует сигнал емкости посредством преобразования, сортировки, усиления и преобразования и, наконец, выводит стандартный сигнал напряжения или тока. Этот стандартный электрический сигнал получается из емкостного сигнала и пропорционален вакуумному давлению.
Геттер
Вакуумная камера
Пластинчатый кабельный вывод
Дыхательная трубка
Герметизация после выхлопа
Фиксированная доска
Диафрагма обнаружения
Камера обнаружения
Отверстие для обнаружения
| Код заказа | Деталь | Материалы |
|---|---|---|
| С4 | Интерфейс давления | SS304 |
| S6 | Интерфейс давления | СС316Л |
| ЧП | Интерфейс давления | PEEK |
| M6 | Датчик | Керамический Al2O3 99,9% |
| ФК | уплотнительное кольцо | FKM Фторкаучук |
| Примечание: | уплотнительное кольцо | НБР Нитрил |
наружный диаметр трубы 1/2 дюйма
наружный диаметр трубки 1/4 дюйма
Ду 16 ИСО-КФ
8 Видеомагнитофон, внутренняя резьба
4 видеомагнитофона, наружная резьба и 8 видеомагнитофонов, наружная резьба
4 Видеомагнитофон, внутренняя резьба
М20Х1,5
| Источник питания+ (+В) | Источник питания- (0В/+ВЫХОД) | Пусто | |
|---|---|---|---|
| Хиршманн/DIN43650 | 1 | 2 | 3, 4 |
| Кабельная розетка | Red | Черный | - |
| М12×1 | 1 | 2 | 3,4 |
| М12×1 (с кабелем) | Коричневый | Черный | Синий, белый |
| Источник питания+(+В) | Общая земля (GND) | Выход(+OUT) | Пустой | |
|---|---|---|---|---|
| Хиршманн/DIN43650 | 1 | 2 | 3 | 4 |
| Кабельная розетка | Red | Черный | Синий | - |
| М12×1 | 1 | 2 | 3 | 4 |
| M12×1 (с кабелем) | Коричневый | Черный | Синий | Белый |
| Источник питания+(+В) | Источник питания-(-В) | RS485A | RS485B | |
|---|---|---|---|---|
| Хиршманн/DIN43650 | 1 | 2 | 3 | 4 |
| Кабельная розетка | Red | Черный | Желтый | Зеленый |
| М12×1,4П | 1 | 2 | 3 | 4 |
| M12×1 (с кабелем) | Коричневый | Черный | Синий | Белый |
Измеренный диапазон | ||||||||||
Абсолютный (кПа) | Рейтинг давления | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 | |
Перегрузка | 350 | 350 | 350 | 350 | 400 | 400 | 600 | 1000 | ||
Абсолютный (Торр) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 | |
Перегрузка | 2600 | 2600 | 2600 | 2600 | 3000 | 3000 | 4500 | 7500 | ||
Абсолютный (мбар) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 | |
Перегрузка | 3500 | 3500 | 3500 | 3500 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | ||
Примечание. Для получения информации о других диапазонах измерения свяжитесь с нами. | ||||||||||
Измерение среды | ||||||||||
Тип | Различные газы, совместимые с контактными материалами | |||||||||
Выходной сигнал/источник питания | ||||||||||
Стандартный | 4~20 мА / Vs=10~30 В постоянного тока (при наличии дисплея Vs = 13~30 В постоянного тока ) | |||||||||
Стандартный | 0–5 В постоянного тока /Vs = 10–30 В постоянного тока | |||||||||
Стандартный | 0 ~ 10 В пост . | |||||||||
Стандартный | RS485 /Vs=8~30 В постоянного тока | |||||||||
Производительность | ||||||||||
Точность | ±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа) ±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа) ±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа) ±1,5% полной шкалы (200 Па) | |||||||||
Долгосрочная стабильность | ±0,50% полной шкалы/год, ≤1 кПа ±0,25% полной шкалы/год, >1 кПа | |||||||||
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость) | ||||||||||
Условия окружающей среды | ||||||||||
Температурная диапазон | Рабочая температура: -40~125℃ (максимум 120 минут при +125°C) Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃ | |||||||||
Защитный класс | IP65, DIN43650/Хиршманн (C1) IP66, Кабельный вывод (C2), M12×1 (C5), M12×1 с кабелем (C5X) IP68, кабельный вывод (C2P) | |||||||||
Температурная дрейф | ||||||||||
Температура компенсации | -20 ~ 80 ℃ | |||||||||
Температура дрейфа нулевой точки | ±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации) | |||||||||
Температурная дрейф полного масштаба | ±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации) | |||||||||
| Элемент | Спецификация |
| Название продукта | Емкостный мембранный манометр HPM18V |
| Тип продукта | Емкостный пленочный манометр (CDG)/вакуумметр |
| Принцип измерения | Принцип фильма конденсатора |
| Сенсорный элемент | Керамический емкостный датчик |
| Измеренный диапазон | 0,2/0,5/1/2/5/10/20/100 кПа |
| 2/5/10/20/50/100/200/1000 Торр | |
| 2/5/10/20/50/100/200/1000 мбар | |
| Выходной сигнал/питание | 4~20мА/Vs=10~30В постоянного тока |
| 0–5 В постоянного тока / Vs = 8,5–30 В постоянного тока | |
| 0–10 В постоянного тока / Vs = 12–30 В постоянного тока | |
| RS485/Vs=10~30 В постоянного тока | |
| Точность | ±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа) |
| ±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа) | |
| ±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа) | |
| ±1,5% полной шкалы (200 Па) | |
| Долгосрочная стабильность | ±0,50% полной шкалы/год для ≤1 кПа |
| ±0,25% полной шкалы/год для >1 кПа | |
| Рабочая температура | -40~125°К |
| +125°C макс. 120 мин. | |
| Температура окружающей среды | -30~85°К |
| Температура хранения | -30~85°К |
HPM18V — это емкостный вакуумметр, также называемый емкостным тонкопленочным вакуумметром (CDG). В этом продукте в качестве чувствительного элемента используется керамический емкостной датчик, который непосредственно измеряет давление с помощью вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0–5 или 0–10 В постоянного тока, пропорциональны измеряемому давлению и не зависят от типа и состава технологического газа. Керамика обладает характеристиками высокой эластичности, износостойкости, коррозионной стойкости и быстрого рассеивания тепла, что делает вакуумметр очень хорошей термической стабильностью и низким температурным дрейфом.
Емкостный вакуумметр HPM18V обладает высокой точностью измерения, превосходной устойчивостью к избыточному давлению и превосходной долговременной стабильностью. Его устойчивый к коррозии керамический датчик имеет температурную компенсацию, широкий диапазон рабочих температур и хорошую стабильность нулевой точки. Вакуумметр компактен по размеру, прост в использовании и надежен и подходит для точного измерения среднего и низкого вакуума со сложным составом газа.
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Принцип фильма конденсатора
Высокая точность и хорошая стабильность
Обладает отличной защитой от перегрузок.
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и небольшой гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Поддержите различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Емкостный вакуумметр, также называемый емкостным пленочным вакуумметром, работает на основе принципа изменения емкости и состоит из детекторной части и схемы преобразования.
На рисунке выше представлена принципиальная схема детекторной части. Часть обнаружения имеет две камеры: вакуумную камеру и камеру обнаружения. Вакуумная камера представляет собой полностью герметичную конструкцию. После обнаружения утечки с помощью течеискателя гелиевого масс-спектрометра он выпускается в течение длительного времени, и, наконец, выхлопная труба герметизируется для поддержания длительного высокого вакуума. Неподвижная электродная пластина находится в вакуумной камере и выводится из вакуумной камеры проводом электрода. Диафрагма обнаружения размещается между камерой высокого вакуума и камерой обнаружения испытуемой системы низкого вакуума. Диафрагма обнаружения представляет собой подвижную пластину, которая вместе с неподвижной пластиной образует плоский конденсатор. Измеренное низкое вакуумное давление поступает в камеру обнаружения через отверстие обнаружения, и диафрагма обнаружения отклоняется, изменяя свое расстояние от неподвижной пластины, и значение емкости также изменяется соответствующим образом. Различное низкое давление вакуума определяет разные значения емкости.
Сигнал емкости, сформированный блоком обнаружения, отправляется в блок преобразования схемы. Часть преобразования схемы преобразует сигнал емкости посредством преобразования, сортировки, усиления и преобразования и, наконец, выводит стандартный сигнал напряжения или тока. Этот стандартный электрический сигнал получается из емкостного сигнала и пропорционален вакуумному давлению.
Геттер
Вакуумная камера
Пластинчатый кабельный вывод
Дыхательная трубка
Герметизация после выхлопа
Фиксированная доска
Диафрагма обнаружения
Камера обнаружения
Отверстие для обнаружения
| Код заказа | Деталь | Материалы |
|---|---|---|
| С4 | Интерфейс давления | SS304 |
| S6 | Интерфейс давления | СС316Л |
| ЧП | Интерфейс давления | PEEK |
| M6 | Датчик | Керамический Al2O3 99,9% |
| ФК | уплотнительное кольцо | FKM Фторкаучук |
| Примечание: | уплотнительное кольцо | НБР Нитрил |
наружный диаметр трубы 1/2 дюйма
наружный диаметр трубки 1/4 дюйма
Ду 16 ИСО-КФ
8 Видеомагнитофон, внутренняя резьба
4 видеомагнитофона, наружная резьба и 8 видеомагнитофонов, наружная резьба
4 Видеомагнитофон, внутренняя резьба
М20Х1,5
| Источник питания+ (+В) | Источник питания- (0В/+ВЫХОД) | Пусто | |
|---|---|---|---|
| Хиршманн/DIN43650 | 1 | 2 | 3, 4 |
| Кабельная розетка | Red | Черный | - |
| М12×1 | 1 | 2 | 3,4 |
| М12×1 (с кабелем) | Коричневый | Черный | Синий, белый |
| Источник питания+(+В) | Общая земля (GND) | Выход(+OUT) | Пустой | |
|---|---|---|---|---|
| Хиршманн/DIN43650 | 1 | 2 | 3 | 4 |
| Кабельная розетка | Red | Черный | Синий | - |
| М12×1 | 1 | 2 | 3 | 4 |
| M12×1 (с кабелем) | Коричневый | Черный | Синий | Белый |
| Источник питания+(+В) | Источник питания-(-В) | RS485A | RS485B | |
|---|---|---|---|---|
| Хиршманн/DIN43650 | 1 | 2 | 3 | 4 |
| Кабельная розетка | Red | Черный | Желтый | Зеленый |
| М12×1,4П | 1 | 2 | 3 | 4 |
| M12×1 (с кабелем) | Коричневый | Черный | Синий | Белый |
Измеренный диапазон | ||||||||||
Абсолютный (кПа) | Рейтинг давления | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 | |
Перегрузка | 350 | 350 | 350 | 350 | 400 | 400 | 600 | 1000 | ||
Абсолютный (Торр) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 | |
Перегрузка | 2600 | 2600 | 2600 | 2600 | 3000 | 3000 | 4500 | 7500 | ||
Абсолютный (мбар) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 | |
Перегрузка | 3500 | 3500 | 3500 | 3500 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | ||
Примечание. Для получения информации о других диапазонах измерения свяжитесь с нами. | ||||||||||
Измерение среды | ||||||||||
Тип | Различные газы, совместимые с контактными материалами | |||||||||
Выходной сигнал/источник питания | ||||||||||
Стандартный | 4~20 мА / Vs=10~30 В постоянного тока (при наличии дисплея Vs = 13~30 В постоянного тока ) | |||||||||
Стандартный | 0–5 В постоянного тока /Vs = 10–30 В постоянного тока | |||||||||
Стандартный | 0 ~ 10 В пост . | |||||||||
Стандартный | RS485 /Vs=8~30 В постоянного тока | |||||||||
Производительность | ||||||||||
Точность | ±0,1% полной шкалы (20 кПа, 100 кПа) ±0,25% полной шкалы (5 кПа, 10 кПа) ±0,5% полной шкалы (500 Па, 1 кПа, 2 кПа) ±1,5% полной шкалы (200 Па) | |||||||||
Долгосрочная стабильность | ±0,50% полной шкалы/год, ≤1 кПа ±0,25% полной шкалы/год, >1 кПа | |||||||||
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость) | ||||||||||
Условия окружающей среды | ||||||||||
Температурная диапазон | Рабочая температура: -40~125℃ (максимум 120 минут при +125°C) Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃ | |||||||||
Защитный класс | IP65, DIN43650/Хиршманн (C1) IP66, Кабельный вывод (C2), M12×1 (C5), M12×1 с кабелем (C5X) IP68, кабельный вывод (C2P) | |||||||||
Температурная дрейф | ||||||||||
Температура компенсации | -20 ~ 80 ℃ | |||||||||
Температура дрейфа нулевой точки | ±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации) | |||||||||
Температурная дрейф полного масштаба | ±1,5% полной шкалы (в пределах температуры компенсации) | |||||||||