Измерение вакуумной системы датчика абсолютного давления KF16
HPM10V - это пьезорезистивный вакуумный датчик. Он использует кремниевый пьезорезистивный датчик в качестве чувствительного элемента и непосредственно измеряет давление с использованием вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10 В пост. Диффузированный кремниевый чип внутри датчика инкапсулируется диафрагмой и полостью из нержавеющей стали и полостью. Специально разработанная специализированная плата обеспечивает стабильную и надежную производительность и компактный внешний вид. Пьезорезиновивный вакуум HPM10V имеет высокую точность измерения и превосходную долгосрочную стабильность. Внутренний высококачественный кремниевый пьезорезистивный датчик компенсируется температурой и имеет широкий диапазон рабочих температур. Вакуумный датчик невелик по общему размеру, простым в использовании и надежным и подходит для низкой вакуумной точности измерения сложных газовых составов.
| Количество: | |
|---|---|
Обзор
Преобразователь абсолютного давления HPM10V KF16 представляет собой экономичный пьезорезистивный вакуумметр, предназначенный для прецизионных измерений при низком вакууме в промышленных газовых системах. Это устройство, оснащенное кремниевым пьезорезистивным датчиком в качестве основного чувствительного элемента, обеспечивает прямое определение давления через вакуумное соединение KF16 , выдавая аналоговые выходные сигналы (0–5 В постоянного тока/0–10 В постоянного тока/4–20 мА), которые поддерживают строгую пропорциональность измеренному давлению — независимо от типа или состава технологических газов . Его внутренний диффузионный кремниевый чип герметично заключен в диафрагму и полость из нержавеющей стали 316L в сочетании со специальной монтажной платой, обеспечивающей компактность, стабильную работу и долгосрочную надежность. HPM10V имеет температурную компенсацию с заводской калибровкой, широкий диапазон рабочих температур (-40~100℃) и степень защиты IP65, что делает его надежным решением для промышленных пользователей, которым требуется точное измерение вакуума в сложных газовых средах. Диапазон номинального абсолютного давления от 0,2 до 100 кПа (от 2 до 1000 мбар) и перегрузочная способность до 1000 кПа обеспечивают баланс точности и долговечности для непрерывной промышленной эксплуатации.
Ключевые преимущества
Независимое от газа обнаружение . Измерения остаются точными независимо от типа/состава технологического газа, что исключает необходимость корректировки калибровки при смене газа и сокращает время простоя промышленных предприятий.
Превосходная точность измерений : обеспечивает типичную точность ±0,25% полной шкалы (дополнительно ±0,1% полной шкалы для P≥35 кПаА), соответствует стандартам IEC 60770 по нелинейности, гистерезису и повторяемости, что критически важно для высокоточных вакуумных процессов.
Исключительная долговременная стабильность : стабильность ±0,30% полной шкалы в год для давления ≤35 кПа и ±0,20% полной шкалы в год для давления >35 кПа, что сводит к минимуму необходимость повторной калибровки и снижает затраты на техническое обслуживание для руководителей промышленных предприятий.
Прочная промышленная конструкция : конструкция из нержавеющей стали 316L, широкий диапазон температур и защита IP65 обеспечивают надежную работу в суровых промышленных условиях, включая высокие температуры и пыль.
Быстрый отклик и низкий гистерезис : обеспечивает мониторинг давления в режиме реального времени для динамических вакуумных процессов, таких как плазменное травление и вакуумная упаковка, что повышает эффективность управления процессом.
Промышленное применение промышленных датчиков давления
Этот пьезорезистивный вакуумметр специально разработан для промышленных пользователей в отраслях, где важен вакуум. Его основные области применения включают:
Производство полупроводников : критически важно для оборудования процесса плазменного травления, где точный контроль низкого вакуума обеспечивает качество обработки пластин и выход продукции.
Вакуумная упаковочная промышленность : обеспечивает точный контроль давления при вакуумной герметизации пищевых продуктов, электроники и медицинского оборудования, сохраняя целостность продукта и срок годности.
Лаборатория и научно-исследовательские центры : идеально подходят для вакуумных исследований и экспериментальных установок, поддерживают академические и промышленные исследования в области газовой динамики и материаловедения.
Общее промышленное применение в вакууме : подходит для вакуумных печей, оборудования для вакуумного нанесения покрытий и других промышленных систем с низким вакуумом, требующих постоянного измерения давления.
Испытание компонентов аэрокосмической и автомобильной промышленности : предоставляет надежные вакуумные данные для тестирования производительности компонентов в условиях низкого давления, гарантируя соответствие продукции промышленным стандартам.
Часто задаваемые вопросы
Можно ли использовать HPM10V с агрессивными промышленными газами?
Да, он совместим с различными газами, совместимыми с нержавеющей сталью 316L — контактным материалом. Для высококоррозионных газов по запросу промышленных пользователей со специальными потребностями доступны специальные варианты материалов.
Какие вакуумные интерфейсы поддерживает HPM10V, кроме KF16?
В дополнение к стандартному соединению KF16 он поддерживает интерфейсы CF, VCR и другие стандартные интерфейсы вакуумной промышленности, при этом доступны специальные варианты интерфейса, соответствующие конкретным требованиям промышленного оборудования.
Обзор
Преобразователь абсолютного давления HPM10V KF16 представляет собой экономичный пьезорезистивный вакуумметр, предназначенный для прецизионных измерений при низком вакууме в промышленных газовых системах. Это устройство, оснащенное кремниевым пьезорезистивным датчиком в качестве основного чувствительного элемента, обеспечивает прямое определение давления через вакуумное соединение KF16 , выдавая аналоговые выходные сигналы (0–5 В постоянного тока/0–10 В постоянного тока/4–20 мА), которые поддерживают строгую пропорциональность измеренному давлению — независимо от типа или состава технологических газов . Его внутренний диффузионный кремниевый чип герметично заключен в диафрагму и полость из нержавеющей стали 316L в сочетании со специальной монтажной платой, обеспечивающей компактность, стабильную работу и долгосрочную надежность. HPM10V имеет температурную компенсацию с заводской калибровкой, широкий диапазон рабочих температур (-40~100℃) и степень защиты IP65, что делает его надежным решением для промышленных пользователей, которым требуется точное измерение вакуума в сложных газовых средах. Диапазон номинального абсолютного давления от 0,2 до 100 кПа (от 2 до 1000 мбар) и перегрузочная способность до 1000 кПа обеспечивают баланс точности и долговечности для непрерывной промышленной эксплуатации.
Ключевые преимущества
Независимое от газа обнаружение . Измерения остаются точными независимо от типа/состава технологического газа, что исключает необходимость корректировки калибровки при смене газа и сокращает время простоя промышленных предприятий.
Превосходная точность измерений : обеспечивает типичную точность ±0,25% полной шкалы (дополнительно ±0,1% полной шкалы для P≥35 кПаА), соответствует стандартам IEC 60770 по нелинейности, гистерезису и повторяемости, что критически важно для высокоточных вакуумных процессов.
Исключительная долговременная стабильность : стабильность ±0,30% полной шкалы в год для давления ≤35 кПа и ±0,20% полной шкалы в год для давления >35 кПа, что сводит к минимуму необходимость повторной калибровки и снижает затраты на техническое обслуживание для руководителей промышленных предприятий.
Прочная промышленная конструкция : конструкция из нержавеющей стали 316L, широкий диапазон температур и защита IP65 обеспечивают надежную работу в суровых промышленных условиях, включая высокие температуры и пыль.
Быстрый отклик и низкий гистерезис : обеспечивает мониторинг давления в режиме реального времени для динамических вакуумных процессов, таких как плазменное травление и вакуумная упаковка, что повышает эффективность управления процессом.
Промышленное применение промышленных датчиков давления
Этот пьезорезистивный вакуумметр специально разработан для промышленных пользователей в отраслях, где важен вакуум. Его основные области применения включают:
Производство полупроводников : критически важно для оборудования процесса плазменного травления, где точный контроль низкого вакуума обеспечивает качество обработки пластин и выход продукции.
Вакуумная упаковочная промышленность : обеспечивает точный контроль давления при вакуумной герметизации пищевых продуктов, электроники и медицинского оборудования, сохраняя целостность продукта и срок годности.
Лаборатория и научно-исследовательские центры : идеально подходят для вакуумных исследований и экспериментальных установок, поддерживают академические и промышленные исследования в области газовой динамики и материаловедения.
Общее промышленное применение в вакууме : подходит для вакуумных печей, оборудования для вакуумного нанесения покрытий и других промышленных систем с низким вакуумом, требующих постоянного измерения давления.
Испытание компонентов аэрокосмической и автомобильной промышленности : предоставляет надежные вакуумные данные для тестирования производительности компонентов в условиях низкого давления, гарантируя соответствие продукции промышленным стандартам.
Часто задаваемые вопросы
Можно ли использовать HPM10V с агрессивными промышленными газами?
Да, он совместим с различными газами, совместимыми с нержавеющей сталью 316L — контактным материалом. Для высококоррозионных газов по запросу промышленных пользователей со специальными потребностями доступны специальные варианты материалов.
Какие вакуумные интерфейсы поддерживает HPM10V, кроме KF16?
В дополнение к стандартному соединению KF16 он поддерживает интерфейсы CF, VCR и другие стандартные интерфейсы вакуумной промышленности, при этом доступны специальные варианты интерфейса, соответствующие конкретным требованиям промышленного оборудования.
