штат: | |
---|---|
Количество: | |
HPM10V - это пьезорезистивный вакуумный датчик. Он использует кремниевый пьезорезистивный датчик в качестве чувствительного элемента и непосредственно измеряет давление с использованием вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10 В пост. Диффузированный кремниевый чип внутри датчика инкапсулируется диафрагмой и полостью из нержавеющей стали и полостью. Специально разработанная специализированная плата обеспечивает стабильную и надежную производительность и компактный внешний вид. Пьезорезиновивный вакуум HPM10V имеет высокую точность измерения и превосходную долгосрочную стабильность. Внутренний высококачественный кремниевый пьезорезистивный датчик компенсируется температурой и имеет широкий диапазон рабочих температур. Вакуумный датчик невелик по общему размеру, простым в использовании и надежным и подходит для низкой вакуумной точности измерения сложных газовых составов.
HPM10V - это пьезорезистивный вакуумный датчик. Он использует кремниевый пьезорезистивный датчик в качестве чувствительного элемента и непосредственно измеряет давление с использованием вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10 В пост. Диффузированный кремниевый чип внутри датчика инкапсулируется диафрагмой и полостью из нержавеющей стали и полостью. Специально разработанная специализированная плата обеспечивает стабильную и надежную производительность и компактный внешний вид. Пьезорезиновивный вакуум HPM10V имеет высокую точность измерения и превосходную долгосрочную стабильность. Внутренний высококачественный кремниевый пьезорезистивный датчик компенсируется температурой и имеет широкий диапазон рабочих температур. Вакуумный датчик невелик по общему размеру, простым в использовании и надежным и подходит для низкой вакуумной точности измерения сложных газовых составов.
Приложение
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Приложение
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Функции
Силиконовый пьезорезистивный принцип
Высокая точность и хорошая стабильность
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и низкий гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Suupport Различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Функции
Силиконовый пьезорезистивный принцип
Высокая точность и хорошая стабильность
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и низкий гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Suupport Различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Технические параметры
Измеренный диапазон | |||||||||
Абсолют (KPA) | Рейтинг давления | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Перегрузка | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Абсолют (Торр) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Перегрузка | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Абсолют (MBAR) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Перегрузка | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Примечание. Для других диапазонов измерения, пожалуйста, свяжитесь с нами. |
Измерение среды | ||||
Тип | Различные газы, совместимые с контактными материалами | |||
Выходной сигнал/источник питания | ||||
Стандартный | 4 ~ 20 мА / против = 10 ~ 30 В. | |||
Стандартный | 0 ~ 5VDC /VS=8.5~30 V DC | |||
Стандартный | 0 ~ 10 В пост . | |||
Стандартный | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Производительность | ||||
Точность | ± 0,25%FS (типичный) ± 0,1%FS (необязательно) * только для диапазона P≥35KPAA | |||
Долгосрочная стабильность | ± 0,30%FS/год, ≤35 кПа ± 0,20%FS/год,> 35 кПа | |||
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость) | ||||
Условия окружающей среды | ||||
Температурная диапазон | Рабочая температура: -40 ~ 100 ℃ Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃ | |||
Защитный класс | IP65 | |||
Температурная дрейф | ||||
Температура компенсации | 0 ~ 70 ℃, ≤35 кпа; -10 ~ 80 ℃,> 35 кпа | |||
Температура дрейфа нулевой точки | ± 1,0%FS (в пределах температуры компенсации) | |||
Температурная дрейф полного масштаба | ± 1,0%FS (в пределах температуры компенсации) |
Технические параметры
Измеренный диапазон | |||||||||
Абсолют (KPA) | Рейтинг давления | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Перегрузка | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Абсолют (Торр) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Перегрузка | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Абсолют (MBAR) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Перегрузка | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Примечание. Для других диапазонов измерения, пожалуйста, свяжитесь с нами. |
Измерение среды | ||||
Тип | Различные газы, совместимые с контактными материалами | |||
Выходной сигнал/источник питания | ||||
Стандартный | 4 ~ 20 мА / против = 10 ~ 30 В. | |||
Стандартный | 0 ~ 5VDC /VS=8.5~30 V DC | |||
Стандартный | 0 ~ 10 В пост . | |||
Стандартный | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Производительность | ||||
Точность | ± 0,25%FS (типичный) ± 0,1%FS (необязательно) * только для диапазона P≥35KPAA | |||
Долгосрочная стабильность | ± 0,30%FS/год, ≤35 кПа ± 0,20%FS/год,> 35 кПа | |||
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость) | ||||
Условия окружающей среды | ||||
Температурная диапазон | Рабочая температура: -40 ~ 100 ℃ Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃ | |||
Защитный класс | IP65 | |||
Температурная дрейф | ||||
Температура компенсации | 0 ~ 70 ℃, ≤35 кпа; -10 ~ 80 ℃,> 35 кпа | |||
Температура дрейфа нулевой точки | ± 1,0%FS (в пределах температуры компенсации) | |||
Температурная дрейф полного масштаба | ± 1,0%FS (в пределах температуры компенсации) |
HPM10V - это пьезорезистивный вакуумный датчик. Он использует кремниевый пьезорезистивный датчик в качестве чувствительного элемента и непосредственно измеряет давление с использованием вакуумного соединения. Его аналоговые выходные сигналы, такие как 0-5 или 0-10 В пост. Диффузированный кремниевый чип внутри датчика инкапсулируется диафрагмой и полостью из нержавеющей стали и полостью. Специально разработанная специализированная плата обеспечивает стабильную и надежную производительность и компактный внешний вид. Пьезорезиновивный вакуум HPM10V имеет высокую точность измерения и превосходную долгосрочную стабильность. Внутренний высококачественный кремниевый пьезорезистивный датчик компенсируется температурой и имеет широкий диапазон рабочих температур. Вакуумный датчик невелик по общему размеру, простым в использовании и надежным и подходит для низкой вакуумной точности измерения сложных газовых составов.
Приложение
Вакуумное применение
Лабораторные и исследования и разработки
Полупроводниковая промышленность
Вакуумная упаковка
Плазменное оборудование процесса травления
Функции
Силиконовый пьезорезистивный принцип
Высокая точность и хорошая стабильность
Обнаружение не зависит от типа газа и композиции
Быстрый ответ и низкий гистерезис
Измерение прямого давления, аналоговый выходной сигнал пропорционален измеренному давлению
Suupport Различные интерфейсы давления KF, CF, VCR и т. Д. В вакуумной промышленности
Технические параметры
Измеренный диапазон | |||||||||
Абсолют (KPA) | Рейтинг давления | 0.2 | 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 20 | 100 |
Перегрузка | 200 | 200 | 200 | 200 | 400 | 400 | 600 | 1000 | |
Абсолют (Торр) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Перегрузка | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Абсолют (MBAR) | Рейтинг давления | 2 | 5 | 10 | 20 | 50 | 100 | 200 | 1000 |
Перегрузка | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 4000 | 4000 | 6000 | 10000 | |
Примечание. Для других диапазонов измерения, пожалуйста, свяжитесь с нами. |
Измерение среды | ||||
Тип | Различные газы, совместимые с контактными материалами | |||
Выходной сигнал/источник питания | ||||
Стандартный | 4 ~ 20 мА / против = 10 ~ 30 В. | |||
Стандартный | 0 ~ 5VDC /VS=8.5~30 V DC | |||
Стандартный | 0 ~ 10 В пост . | |||
Стандартный | Rs485 /vs = 10 ~ 30 V DC | |||
Производительность | ||||
Точность | ± 0,25%FS (типичный) ± 0,1%FS (необязательно) * только для диапазона P≥35KPAA | |||
Долгосрочная стабильность | ± 0,30%FS/год, ≤35 кПа ± 0,20%FS/год,> 35 кПа | |||
*Точность соответствует IEC 60770 (нелинейность, гистерезис, повторяемость) | ||||
Условия окружающей среды | ||||
Температурная диапазон | Рабочая температура: -40 ~ 100 ℃ Температура окружающей среды: -30 ~ 85 ℃ Температура хранения: -30 ~ 85 ℃ | |||
Защитный класс | IP65 | |||
Температурная дрейф | ||||
Температура компенсации | 0 ~ 70 ℃, ≤35 кпа; -10 ~ 80 ℃,> 35 кпа | |||
Температура дрейфа нулевой точки | ± 1,0%FS (в пределах температуры компенсации) | |||
Температурная дрейф полного масштаба | ± 1,0%FS (в пределах температуры компенсации) |